光通信技术

2022, v.46;No.331(04) 68-72

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氮化硅低损耗光栅耦合器的设计与制备
Design and fabrication of the SiN grating coupler with low loss

梁宇鑫;李智慧;范诗佳;杨忠华;刘大鹏;冯靖;廖海军;崔乃迪;

摘要(Abstract):

为实现光栅耦合器与光纤的高效率耦合,基于联合微电子中心有限责任公司(CUMEC)超低损耗氮化硅平台,成功设计并开发了与互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺兼容的低损耗、小尺寸氮化硅光栅耦合器。首先对光栅关键参数进行了仿真计算,选择最优参数进行光栅耦合器的设计。然后,基于CUMEC超低损耗氮化硅平台,采用聚焦光栅结构,极大地缩小了光栅耦合器的尺寸,得到的氮化硅聚焦光栅耦合器小线宽结构制备良好。搭建了光学测试系统完成聚焦光栅性能表征,测试结果表明,损耗最优值为4.48 dB,对应波长1548 nm,1 dB带宽大于45 nm。

关键词(KeyWords): 聚焦光栅;氮化硅平台;集成光子;低压化学气相沉积

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation):

作者(Authors): 梁宇鑫;李智慧;范诗佳;杨忠华;刘大鹏;冯靖;廖海军;崔乃迪;

DOI: 10.13921/j.cnki.issn1002-5561.2022.04.012

参考文献(References):

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